Автор туралы ақпарат
Amirov, I. I.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 54, № 3 (2025) | TECHNOLOGIES | Nanostructured ruthenium etching in three-component Cl2 /O2/Ar plasma | |
| Том 54, № 3 (2025) | TECHNOLOGIES | Self-assembly of 3D mesostructures using local ion-plasma treatment |