Исследование функции распределения электронов по скоростям в слабоионизированной ВЧ-плазме

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

Одной из наиболее важных характеристик низкотемпературной плазмы является функция распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) или же по скоростям. В работе рассмотрено влияние электромагнитного поля на значения функции распределения электронов по скоростям (ФРЭС) при давлении от 13.3 до 133 Па для напряженностей электрического поля от -3000 до 3000 В/м в высокочастотном разряде со степенью ионизации 10−4−10−6. Показано, что на низких частотах ВЧ-электромагнитного поля (0.44–1.76 МГц) и с уменьшением частоты соударений до 5 × 107 Гц, при увеличении напряженности по модулю до 3000 В/м отклонение ФРЭС от ФРЭС Максвелла составляет до 35%. Это оказывает существенное влияние на коэффициенты диффузии и подвижности, разница в которых может составлять до 25% в рассмотренном диапазоне параметров.

Толық мәтін

Рұқсат жабық

Авторлар туралы

А. Шемахин

Казанский (Приволжский) федеральный университет

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: shemakhin@gmail.com
Ресей, 420111, Респ. Татарстан, Казань, ул. Кремлевская, 18

Әдебиет тізімі

  1. Bogaerts A. et al. // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. 2002. V. 57. № 4. С. 609–658.
  2. Samukawa S. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2012. V. 45. №. 25. P. 253001.
  3. Chu P.K., Lu X.P. (ed.). Low temperature plasma technology: methods and applications. CRC press, 2013. 494 р.
  4. Adamovich I. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2017. V. 50. № 32. P. 323001.
  5. Adamovich I. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2022. V. 55. № 37. P. 373001.
  6. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Кашапов Н.Ф. Высокочастотная плазменно-струйная обработка материалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения. Казань: Изд-во Казанского государственного университета, 2000.
  7. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Абуталипова Л.Н., Красина И.В. Высокочастотная плазменная обработка в динамическом вакууме капиллярно-пористых материалов: теория и практика применения. Казань: Изд-во Казан. ун-та, 2004.
  8. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Сагбиев И.Р. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления. Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2007.
  9. Абдуллин И.Ш. и др. // Химия высоких энергий. 2012. Т. 46. №. 4. С. 319–323.
  10. Гинзбург В. Л. Распространение электромагнитных волн в плазме. Москва: Наука, 1967.

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
Жүктеу
2. Fig. 1. Dependence of collision frequency [Hz] on pressure [Pa].

Жүктеу (90KB)
Метадеректер
3. Fig. 2. Electron velocity distribution function in relative units at vc = 108 Hz and f = 13.56 MHz.

Жүктеу (276KB)
Метадеректер
4. Fig. 3. Electron velocity distribution function in relative units at vc = 5 × 107 Hz and f = 1.76 MHz.

Жүктеу (275KB)
Метадеректер
5. Fig. 4. Electron velocity distribution function in relative units at vc = 109 Hz and f = 13.56 MHz.

Жүктеу (253KB)
Метадеректер

© Russian Academy of Sciences, 2024